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SDI系列
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产品描述
参数
1.产品描述
SDI系列产品是业界领先的光伏直接成像解决方案，适用于光伏太阳能电池高精度图形化工艺领域。
该系统采用DMD技术，通过高精度的资料解析能力，解析精度优于15μm及优异的线宽一致性和边缘粗糙度，在保证增效的同时，可降低整体运行成本。
2.产品特点
- 直写光刻无需掩膜版，非接触曝光工艺；
- 405nm 半导体激光器，低曝光剂量无基底激光损伤；
- 背靠背双轨道M10/G12半片≥10000wph；
- 图形易编辑，基板尺寸适用于166~210整片以及半片电池；
- 对位精度：抓边对位±0.05mm、Mark高精对位±10μm;
- 适用不同感光材料，解析精度优于15μm，线宽公差±10%；
- 高精度环境控制系统，稳定性好；
- 基于Windows系统，用户界面方便操作;
3.技术规格
| 设备型号 | 光伏SDI | |
| 基板尺寸 | 166 mm~210mm整片或半片电池 | |
| 基板厚度 | 100~150μm | |
| 解析能力 | 15μm | |
| 线宽公差 | ±10% | |
| 景深 | ±100μm | |
| 对位精度 | 边缘对位±50μm Mark对位±10μm |
|
| 双轨道产能 | 10000wph | |
| 光源类型 | LD 405±10nm | |
| 拼接误差 | ±1.5μm | |
| 能量均匀性 | ≥95% | |
| 光源寿命 | 10000H | |
* 显影后，最小线宽/线距与景深取决于感光材料特性及制程
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股票代码：688630
